|
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Зондовая станция TS 300
Зондовая станция TS 300 предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power). Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой мощности.
Страна-производитель: Россия
Основные возможности:
- Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец при помощи ручного пантографа.
- Устойчивая плита, допускающая установку до 10 DC или 4 RF-позиционеров
- Воспроизводимый дизайн подъемника плиты с 3 отдельными режимами: для загрузки образца, контакта с образцом и промежуточный
- Антивибрационная платформа в комплекте
- Русскоязычное ПО
- Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
|
Функции и преимущества Платформа с пневматическим подшипником Уникальная конструкция платформы с пневматическим подшипником обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм. |
|
Уникальный механизм подъема платформы Точность измерений зависит, прежде всего, от качества контакта! Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1µm) имеет три раздельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 µm) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или пластины, обеспечивая интуитивное управление и точное размещение контакта. Особенно эта функция важна для высокочастотных измерений и измерений с высокой мощностью. |
|
Регулировочная шкала по высоте Точная регулировка зондовой платформы по высоте составляет 25 мм и требуется для поддержки различных измерений. Уникальная шкала с точностью 1 мм обеспечивает наглядность текущего положение платформы. |
|
Компактная и жесткая конструкция платформы Компактная и жесткая конструкция платформы обеспечивает размещение до десяти микропозиционеров для измерений на постоянном токе и до четырех высокочастотных. |
|
Различные держатели пластин Предлагаются ручные станции с различными техническими решениями держателей пластин. Компания ТБС предлагает коаксиальные, триаксиальные и различные термические держатели пластин для выполнения температурных измерений в диапазоне до 300°C. |
|
Дополнительные держатели (для калибровочных пластин) В комплекте с высокочастотными держателями пластин входят два дополнительных держателя, встроенные в керамический материал для размещения калибровочных пластин |
|
Выбор различных микроскопов и типов перемещений микроскопов Предлагается большой ассортимент микроскопов и типов перемещений. Стереоскопический микроскоп для выполнения измерений на постоянном токе и вольт-фарадных характеристик. Монокулярные микроскопы SZ10 или MZ12 для ВЧ конфигураций. Имеются в наличии высокомощные оптические устройства, например, Mitutoyo FS70 или Motic PSM-1000, для приложений, выполняющих анализ отказов. |
|
Откидывание микроскопа Откидывание микроскопа на 90 градусов, стандартная опция для ручных зондовых станций так же, как и перемещение микроскопа при помощи пневматического подшипника и линейный подъем микроскопа по оси Z. Эти опции позволяют легко устанавливать и менять ВЧ головки. |
|
Антивибрационная платформа В состав всех ручных систем входит антивибрационное основание для достижения стабильного и устойчивого длительного контакта между зондом и подложкой, обеспечивая, таким образом, надежные результаты измерений. Антивибрационная платформа или антивибрационный стол являются дополнительными приспособлениями для лабораторий, где требуется всесторонняя защита от вибраций и заказываются отдельно. |
|
Светоизоляционный корпус Предлагаемый светоизоляционный корпус обеспечивает защиту от электромагнитных излучений и светонепроницаемые условия проведения испытаний для сверхмалошумных измерений на постоянном токе. |
Станции TS300 просты в использовании. Предназначены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 300 мм. Данные станции подходят для решения самых различных задач, включая анализ отказов, проверку параметров структур на этапе проектирования интегральных схем, микроэлектромеханических систем (MEMS), а так же определение характеристик и моделирование устройств высокой мощности
Зондовые головки
Микропозиционер MP25
Микропозиционер MP40
Микропозиционер MP50
Микропозиционер MP60
Микропозиционер MP60-MR
Микропозиционер MP80
Микропозиционер MP80-DXОбзор зондовых станций TS150, TS200
Платформа на пневматическом подшипнике.
Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI SuperZoom SZ10
Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI MPI MegaZoom SZ12.
Оборудование для полного цикла производства
Rohde&Schwarz ZNB
Более 60 лет опыта работы ...
Rohde&Schwarz ZVA
Анализаторы цепей серии ...
Рекомендуем к прочтению
495 287 8577
infos@tbs-semi.ru
Найти на карте