Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Зондовая станция TS300SE
Ручная измерительная зондовая станция TS300 с функцией защиты ShielDEnvironment™ предназначена для измерения вольт-фарадных характеристик (DC/CV), а также измерения высокочастотных сигналов (RF) пластин размером до 300 мм в диапазоне температур от -60 до +300°C.
Она включает в себя антивибрационную платформу для удобного проведения ежедневных измерений.
ShielDEnvironment™ ShielDEnvironment™ - это высокоэффективная камера для испытаний на локальные внешние воздействия, обеспечивающая условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электромагнитного и светового излучения. |
ShielDCap™
Полностью конфигурируемая часть камеры ShielDEnvironment™ обеспечивает использование до 4-х микропозиционеров для высокочастотных измерений или до 8-ми микропозиционеров для высокотемпературных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию.
|
Передвижение держателя стола на воздушной подушке Станция TS300-SE имеет ту же уникальную конструкцию держателя с передвижением на воздушной подушке как у всех ручных станций TS150, TS200, TS300 c простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм. Кроме того станция имеет уникальное передвижение (подъем платформы) по оси Z. |
Уникальный механизм подъема платформы Конструкция механизма подъема платформы с повторяемостью (1 мкм) имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, перемещения (300 мкм) и загрузки (3 мм). Механизм подъема также оснащен безопасным запорным приспособлением, которое препятствует случайному наклону платформы. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины и обеспечивают интуитивное и точное размещение контакта, безопасную установку и повторяемость.
Дополнительный фиксатор платформы в положении «контакт» имеет фиксированные высоты (50, 100 или 150 мик.) для легкого и удобного касания кристалла щупами головками. |
Уникальный держатель по оси Z
|
Держатели полупроводниковых пластин Станция TS300-SE доступна с различными моделями держателей для соответствия различным бюджетам и требованиям.
Новые температурные держатели серии PRIME™ для пластин диаметром 300 мм, открывают возможности для большого выбора темпеартурных держателей. Станции можно конфигурировать в широком диапазоне температур: от -60°C, -40°C, -10°C, 20°C или 30°C до 200°C или 300°C (в зависимости от необходимой термической стойкости, различных запросов и бюджетов). Серия PRIME™ поддерживает проведение испытаний при температуре -10°C без использования чиллера или при температуре -40°C с использованием маленького чиллера, что делает систему экономически эффективной и позволяет снизить общую стоимость испытаний. Сокращение времени переходного процесса, улучшенные электрические характеристики, упрощенная процедура проведения испытаний в инертной атмосфере и возможность модификации являются дополнительными преимуществами температурных держателей пластин серии PRIME™. Температурные держатели пластин: коаксиальные, триаксиальные, высокочастотные с двумя дополнительными держателями из керамики для прецизионной высокочастотной калибровки |
|||
Интегрированная терморегуляция Дверца для загрузки пластин закрывается при любой температуре ниже 15°C – эта уникальная характеристика делает TS300-SE одной из самых безопасных станций на рынке.
Более того, управлять температурным держателем пластин легко при помощи встроенного сенсорного дисплея терморегулятора, расположенного перед оператором |
Встроенная запатентованная ERS технология охлаждения AC3
Держатели включают запатентованную технологию охлаждения AC3 по шкале ERS и систему управления подачей воздуха для очистки системы ShieldEnvironment™ использованным воздухом, сокращая, таким образом, потребление воздуха на 30 – 50 % по сравнению с другими станциями, представленными на рынке. |
Различные модели микроскопов
Доступен широкий выбор микроскопов iMAG® M или монокулярные микроскопы MPI SuperZoom™ SZ10, MegaZoom™ MZ12 с макс. 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 42 мм или EeyZoom™ EZ10 – с 10-кратным оптическим увеличением с эргономичными 20x окулярами, расстоянием фокусировки 90 мм и оптической разрешающей силой до 2 мкм. |
Уникальные возможности модификации
Модульный дизайн станции TS300-SE обеспечивает уникальные возможности для модификации. Все приставные контактные измерительные устройства станции TS300-SE, такие как термодержатели, микроскопы, позиционеры можно модифицировать или изменять конфигурацию для соответствия различным требованиям применения, включая продолжительность эксплуатации станции для значительного снижения эксплуатационных расходов. Зондовая станция TS300-SE с функцией защиты ShielDEnvironment™ обеспечивает максимальную защиту от электромагнитного излучения для малошумных и малоемкостных измерений для различных областей применения, например, получение характеристик устройств и моделирование, RF/СВЧ-излучение, проверка надежности на уровне пластины, анализ отказов, проверка правильности проекта ИС и измерений высокой мощности.
...
...